佐藤, 一雄
佐藤, 一雄, 1948-
佐藤一雄 日本の機械工学者
VIAF ID: 251839258 (Personal)
Permalink: http://viaf.org/viaf/251839258
Preferred Forms
- 100 1 _ ‡a 佐藤, 一雄
- 100 1 _ ‡a 佐藤, 一雄, ‡d 1948-
- 100 0 _ ‡a 佐藤一雄 ‡c 日本の機械工学者
4xx's: Alternate Name Forms (6)
Works
Title | Sources |
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Etching for Micro/Nano Fabrication | |
Maikuro nanodebaisu no etchingu gijutsu | |
Shirikon maikuro kakō no kiso | |
Silicon micromachining. | |
Sōzōsei monozukuri jisshū manyuaru : Daigakuban | |
シリコンの結晶異方性エッチングプロセスモデルの研究 | |
シリコンマイクロ加工の基礎 | |
シリコン単結晶からなる微細3次元構造体加工の研究 | |
マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 | |
マイクロ・メゾ領域を統合した結晶異方性エッチングメカニズムの研究 | |
マイクロマシン材料の機械的特性とそのスケール効果の研究 | |
大学版 : 創造性モノづくり実習マニュアル : 製作図面CD付 |