Bulkin, Pavel, 19..-....
Pavel Bulkin researcher
VIAF ID: 47161512120170561529 (Personal)
Permalink: http://viaf.org/viaf/47161512120170561529
Preferred Forms
- 100 1 _ ‡a Bulkin, Pavel, ‡d 19..-....
- 100 0 _ ‡a Pavel Bulkin ‡c researcher
4xx's: Alternate Name Forms (1)
Works
Title | Sources |
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Deposition if thin films in a high-density low-pressure plasma system: the influence of the silane injection on the deposition kinetics and material properties of silica. | |
Dépôt de couches minces par plasma haute densité à basse pression : influence de l'injection de silane sur la cinétique du dépôt et les propriétés de la silice | |
Procédés de dépôt par croissance sélective de silicium microcrystallin par PECVD : origine physique, défis et solutions. |