Durandet, Antoine, 1959-...
Durandet, Antoine, 1959-...., auteur(e) en physique
VIAF ID: 32071335 ( Personal )
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Excitateurs pour plasma multipolaire micro-onde : application à la réalisation d'un réacteur de gravure en microélectronique | |
Microwave applicators for multipolar plasma: applicability to the design of plasma etching reactors. |