式田, 光宏
式田光宏
VIAF ID: 260065383 ( Personal )
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Preferred Forms
- 100 1 _ ‡a 式田, 光宏
- 100 1 _ ‡a 式田, 光宏
- 100 0 _ ‡a 式田光宏
4xx's: Alternate Name Forms (5)
Works
Title | Sources |
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Maikuro nanodebaisu no etchingu gijutsu | |
マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 = Etching for Micro/Nano Fabrication | |
磁性微粒子を用いた小型分析システムの開発 | |
能動型アレイ状マイクロセンシングシステムに関する研究 | |
静電式S字型フィルムアクチュエータの研究 |