Sungauer, Elodie, 1982-...., auteur(e) en micro- et nano-électronique
Sungauer, Elodie 1982-...
VIAF ID: 202287072 ( Personal )
Permalink: http://viaf.org/viaf/202287072
Preferred Forms
Works
Title | Sources |
---|---|
Caractérisation et modélisation des effets d'empilement des couches minces sous la résine photosensible pendant le procédé de photolithographie optique | |
Characterization and modeling of wafer stack effect during photolithography process step. | |
Développement d'une méthodologie adaptée à l'industrie microélectronique pour la reconstruction topographique par imagerie SEM à faisceau inclinable | |
Etude et développement de procédés de gravure plasma de HfO2 pour l'élaboration de transistors CMOS sub-45nm | |
Study and developpement of HfO2 plasma etching processes for sub-45 CMOS gate stack patterning. |