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田渕, 雅夫 NII (Japan)

VIAF ID: 115978975 (Personal)

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Title Sources
X線CTR散乱測定法による半導体中の不純物分布の原子層レベル解析 NII (Japan)
ひずみ系混晶半導体の結晶成長とその初期過程に関する研究 NII (Japan)
複雑な構造を持つ半導体多層薄膜のX線CTR散乱法による解析 NII (Japan)

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